1.项目名称:MEMS微加热板流片加工
2.成交供应商名称:湖北九峰山实验室
3.成交供应商地址:中国湖北省武汉东湖开发区九龙湖街9号
4.成交金额(折合人民币):150000元
5.付款方式:合同签订后10日内预付合同金额100%
6.主要成交标的:
序号
服务内容
服务期限
1
本项目要求供应商提供 MEMS 微加热板流片加工服务包括Si02/Si3N4 薄膜沉积、三道光刻、刻蚀、电极镀膜等全流程工艺并交付结构片成品晶圆一片。
合同签订后6个月
******学院
2025年10月13日
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